德州新聞網(wǎng)訊（記者劉瀟通訊員韓哲張小璐）截斷、滾磨、切片……無塵車間內(nèi)，經(jīng)過40余道工序，一件件刻蝕設(shè)備用硅材料部件成功下線。10月16日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項目通線量產(chǎn)，這是全省首個集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)項目，填補了省內(nèi)技術(shù)空白，在完善新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上邁出關(guān)鍵一步。

據(jù)悉，項目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，全部達產(chǎn)后年可新增硅材料部件204噸。“刻蝕設(shè)備用硅材料部件主要包括硅環(huán)和硅電極，是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所需的核心耗材，主要用于生產(chǎn)8至12英寸等離子刻蝕機。”山東有研艾斯半導體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞介紹。

作為國內(nèi)最早開展硅片產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，此前，有研集團一直生產(chǎn)刻蝕設(shè)備用硅部件半成品，來到德州后，開始布局全產(chǎn)業(yè)鏈成品制作。從2021年底謀劃至今，經(jīng)歷了漫長的科研攻關(guān)?！凹纫ＷC產(chǎn)品雜質(zhì)少、微缺陷少，還要保證電阻率、金屬含量等諸多關(guān)鍵性能指標達標?！痹陂Z志瑞看來，最難的是直拉硅單晶制備過程，需要保證工藝穩(wěn)定性和質(zhì)量參數(shù)一致性。

作為“有研系”在德州布局的重點延鏈補鏈項目之一，項目對于完善全省集成電路產(chǎn)業(yè)格局，填補省內(nèi)空白意義重大，同時將徹底改變國內(nèi)刻蝕設(shè)備用硅材料依賴進口的局面?！艾F(xiàn)在我們不僅制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產(chǎn)相關(guān)成品部件，全產(chǎn)業(yè)鏈布局可以直面終端刻蝕機廠商，無形中提升了市場附加值，在細分領(lǐng)域賽道增加了競爭力。”閆志瑞介紹，“通線代表從小批量轉(zhuǎn)為大批量生產(chǎn)，目前第一期每月產(chǎn)能1500片，最大目標是每月1萬片。”

眼下，有研集團已投資近百億元，在德州布局7個產(chǎn)業(yè)鏈項目，天衢新區(qū)涵蓋6個項目，并集聚打造了占地1000畝的集成電路關(guān)鍵材料基地?！搬槍γ總€項目，天衢新區(qū)始終堅持靠前服務，成立項目推進專班和三級幫包服務專員隊伍，點對點、一對一解決項目建設(shè)中的‘疑難雜癥’，全方位協(xié)助辦理各項審批手續(xù)、完善各種配套設(shè)施建設(shè)，幫助項目以最快速度落地投產(chǎn)?！碧灬樾聟^(qū)黨工委委員、管委會副主任李濤說。