——寫在山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料及硅片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目開(kāi)工之際

山東有研半導(dǎo)體材料有限公司生產(chǎn)車間。記者劉振興攝

俯瞰集成電路關(guān)鍵材料基地。記者劉振興攝

記者李榕通訊員韓哲宋釗銘

8月18日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料及硅片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目開(kāi)工儀式在天衢新區(qū)舉行。這兩個(gè)項(xiàng)目的落地，將推動(dòng)德州打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先集成電路關(guān)鍵材料基地，并與已建成和在建的8英寸硅片、12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目“抱團(tuán)發(fā)展”，將使德州市乃至山東省躋身硅材料產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)第一方陣、靶材產(chǎn)業(yè)遙遙領(lǐng)先。

兩項(xiàng)目落戶新區(qū)

總投資逾7億元

芯片，是新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心。山東有研是德州2018年引進(jìn)的央企項(xiàng)目，作為德州市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)龍頭企業(yè)，目前生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、功率器件等多個(gè)領(lǐng)域，打破了國(guó)外壟斷，重點(diǎn)滿足我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、工業(yè)制造、手機(jī)攝像頭等領(lǐng)域需求。

本次開(kāi)工的刻蝕設(shè)備用硅材料及硅片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目是有研半導(dǎo)體硅材料股份公司的上市募投項(xiàng)目。其中，刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后年新增硅材料204噸，年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.9億元；8英寸硅片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目總投資3.84億元，全部達(dá)產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)年新增120萬(wàn)片8英寸硅片產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，年均營(yíng)業(yè)收入2.4億元。

“集成電路是高端制造業(yè)的‘皇冠明珠’，此次開(kāi)工的兩個(gè)項(xiàng)目是我們踐行有色金屬行業(yè)‘國(guó)家隊(duì)’使命的重要載體，將進(jìn)一步推動(dòng)德州打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先集成電路關(guān)鍵材料基地?！敝袊?guó)有研科技集團(tuán)有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼說(shuō)。

據(jù)介紹，刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目生產(chǎn)的產(chǎn)品為集成電路刻蝕設(shè)備所用的硅部件，是集成電路生產(chǎn)過(guò)程中刻蝕工序的消耗性材料，產(chǎn)品的難度在于直拉硅單晶制備過(guò)程中的工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)一致性等。8英寸硅片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目的產(chǎn)品為集成電路用直徑8英寸硅拋光片，是集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的原料?！斑@兩個(gè)項(xiàng)目的建成，將進(jìn)一步拓寬公司的產(chǎn)品范圍，提高公司的市場(chǎng)占有率。同時(shí)，全部建成后將實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值6.3億元，建成中國(guó)最大刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)基地?！敝芷熹撜f(shuō)。

持續(xù)“加碼”背后

得益營(yíng)商環(huán)境之優(yōu)

2017年到德州考察、2018年簽署協(xié)議、2019年動(dòng)工、2020年8英寸硅片通線量產(chǎn)，再到如今多個(gè)項(xiàng)目陸續(xù)落地德州，有研在天衢新區(qū)的發(fā)展一路高歌猛進(jìn)。

有研持續(xù)“加碼”投資的背后，得益于德州良好的營(yíng)商環(huán)境?！皬捻?xiàng)目審批，到快速解決建設(shè)中遇到的水電氣等配套難題，再到有研員工團(tuán)購(gòu)價(jià)購(gòu)房等，每一個(gè)細(xì)節(jié)都體現(xiàn)出德州真招實(shí)招留企穩(wěn)企的決心和誠(chéng)心。”山東有研半導(dǎo)體材料有限公司副總經(jīng)理常青說(shuō)。以硅單晶拉制為例，這是一個(gè)極其復(fù)雜的過(guò)程。在拉制過(guò)程中，要控制精確溫度和拉速，對(duì)水、電和氬氣等動(dòng)力條件的供應(yīng)穩(wěn)定性要求非常嚴(yán)苛，最害怕的就是發(fā)生抖動(dòng)和能源供應(yīng)的不穩(wěn)定。為保證能源供應(yīng)的穩(wěn)定性，德州為企業(yè)建設(shè)了專用變電站，實(shí)行雙回路供電。

此外，公司的高端人才都是從北京來(lái)到德州全職工作的，但受社保繳納地、個(gè)人檔案等限制，無(wú)法享受到當(dāng)?shù)氐母黝惾瞬耪哐a(bǔ)貼。針對(duì)這一痛點(diǎn)，我市出臺(tái)《德州市人才政策“破格權(quán)”實(shí)施細(xì)則》，對(duì)重點(diǎn)科研類平臺(tái)和近3年從市外招引的重大“雙招雙引”項(xiàng)目，可不受平臺(tái)性質(zhì)限制，參照本市具有獨(dú)立法人資格企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，同等享受市級(jí)和所在縣（市、區(qū)）人才政策。不久前，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司和山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司均被納入首批享受人才政策“破格權(quán)”用人單位名單?！坝辛恕聘駲?quán)’，團(tuán)隊(duì)成員就能享受到當(dāng)?shù)氐暮芏嗳瞬耪?，這不是簡(jiǎn)單的收入或者待遇的提升，更重要的是讓他們感受到了德州惜才、愛(ài)才、護(hù)才的真心實(shí)意。”常青說(shuō)。

集成電路關(guān)鍵材料基地

2025年滿產(chǎn)運(yùn)營(yíng)

“集成電路產(chǎn)業(yè)是省市主要領(lǐng)導(dǎo)掛帥擔(dān)任鏈長(zhǎng)的‘一號(hào)產(chǎn)業(yè)鏈’，今年以來(lái)，天衢新區(qū)圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)不斷延鏈補(bǔ)鏈，實(shí)現(xiàn)‘5+N’項(xiàng)目重大突破?！钡轮菔形Ｎ⑻灬樾聟^(qū)黨工委書(shū)記祁小青介紹。天衢新區(qū)投資超百億元，規(guī)劃建設(shè)了1000畝的集成電路關(guān)鍵材料基地，現(xiàn)已有有研8英寸硅片、12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料、8英寸擴(kuò)產(chǎn)等6個(gè)項(xiàng)目入駐。其中，今年10月份12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材兩項(xiàng)目將竣工投產(chǎn)，整個(gè)集成電路關(guān)鍵材料基地將于2025年實(shí)現(xiàn)滿產(chǎn)運(yùn)營(yíng)?！按舜伍_(kāi)工的兩個(gè)項(xiàng)目建成后，將進(jìn)一步壯大全市集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模，使德州市乃至山東省躋身硅材料產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)第一方陣、靶材產(chǎn)業(yè)遙遙領(lǐng)先?！逼钚∏嗾f(shuō)。

從2013年引進(jìn)威訊集成電路封裝測(cè)試項(xiàng)目，到2018年有研8英寸硅片項(xiàng)目落地生根，再到刻蝕設(shè)備用硅材料、8英寸擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目如期而至，10年的時(shí)間里，天衢新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從“無(wú)中生有”到“多點(diǎn)開(kāi)花”的華麗蝶變，形成了“引進(jìn)一個(gè)項(xiàng)目、聚集一個(gè)園區(qū)、催生一個(gè)產(chǎn)業(yè)”的鏈?zhǔn)叫?yīng)。

目前，天衢新區(qū)集聚電子信息規(guī)上企業(yè)達(dá)到36家，形成了以有研公司集成電路關(guān)鍵材料、威訊公司射頻芯片封測(cè)為核心，鯤程電子公司芯片模組等“一核多元”的產(chǎn)業(yè)布局。2022年天衢新區(qū)電子信息（集成電路）產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)總產(chǎn)值124.3億元，是德州市唯一入選2022年省級(jí)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群?！把巯?，我們大力延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈，積極引進(jìn)傳感器芯片設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體設(shè)備制造、芯片可靠性測(cè)試等項(xiàng)目，全部落地后，德州將形成包括關(guān)鍵材料、芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試等在內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)微集群，躋身一線半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)城市?！逼钚∏嗾f(shuō)。