有研半導(dǎo)體生產(chǎn)車間。記者 路龍帥 攝

德州新聞網(wǎng)訊（牟金文）日前，中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)聯(lián)合發(fā)布《關(guān)于頒發(fā)2020年度中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)的通知》，山東有研半導(dǎo)體的IGBT用8英寸硅襯底拋光片項(xiàng)目獲得2020年度中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

據(jù)了解，IGBT用8英寸硅襯底拋光片項(xiàng)目的實(shí)施，突破了完整8英寸硅單晶生長(zhǎng)、8英寸硅片精密加工等關(guān)鍵技術(shù)，解決了晶體微缺陷控制、硅片幾何參數(shù)精密控制的技術(shù)難題，研制出晶體微缺陷極少、幾何參數(shù)高度精密的高品質(zhì)8英寸輕摻硅片，打破了國(guó)外技術(shù)壁壘，完全實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一系列核心技術(shù)。項(xiàng)目整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中部分指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

據(jù)悉，項(xiàng)目成功實(shí)施成果轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)了可觀的經(jīng)濟(jì)效益，并填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)IGBT用8英寸硅襯底拋光片產(chǎn)品的技術(shù)空白，批量生產(chǎn)的產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)，累計(jì)銷售超過30萬片，銷售額近億元，前景良好。同時(shí)項(xiàng)目成果輻射帶動(dòng)了相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提升了項(xiàng)目單位現(xiàn)有8英寸硅材料的產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)，產(chǎn)品在國(guó)際上呈現(xiàn)了較好的競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)了我國(guó)高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善，使我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備部件和設(shè)備部件用高端硅材料逐步擺脫對(duì)國(guó)外的依賴，提升了國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力和戰(zhàn)略地位，保障國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展。

2020年8月，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司傳出好消息：8英寸半導(dǎo)體級(jí)直拉硅單晶一次性拉制成功！該公司副總經(jīng)理劉斌興奮不已：這是在德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)新廠區(qū)使用新設(shè)備生產(chǎn)的，是山東省首根半導(dǎo)體級(jí)8英寸直拉硅單晶，標(biāo)志著該產(chǎn)品在德州量產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步。

2020年10月16日，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目通線量產(chǎn)儀式，中國(guó)工程院院士屠海令宣布項(xiàng)目正式通線量產(chǎn)。

在山東有研順利投產(chǎn)的背后，離不開經(jīng)開區(qū)一系列給力的舉措：壓縮項(xiàng)目落地時(shí)限實(shí)現(xiàn)“拿地即開工”，一條龍服務(wù)配套設(shè)施“辦得好”，創(chuàng)新機(jī)制早餐例會(huì)督進(jìn)度等。