——山東有研公司自主產(chǎn)品技術(shù)水平全球領(lǐng)先

德州新聞網(wǎng)訊（記者王志強(qiáng)通訊員韓哲）今年剛剛過了4個(gè)月，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司的半導(dǎo)體級(jí)硅片生產(chǎn)訂單已排滿全年，客戶排隊(duì)等待產(chǎn)品下線。4月19日，該公司總工程師肖清華估算，2021年該公司預(yù)計(jì)銷售額約7億元，而去年的銷售額為2000多萬元。

山東有研半導(dǎo)體材料有限公司2018年落戶德州經(jīng)開區(qū)，去年剛剛投產(chǎn)，產(chǎn)品為何會(huì)這么火？

掌握核心技術(shù)，產(chǎn)品銷路不愁。

4月15日，2020年度山東“十大科技成果”“十大科技新聞”揭曉。山東有研半導(dǎo)體材料有限公司“滿足14納米集成電路裝備用的18英寸硅單晶及部件全國(guó)首次成功投產(chǎn)”上榜“十大科技成果”。

大規(guī)格高純硅單晶是先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件材料，是納米級(jí)半導(dǎo)體制程良率的重要保障。經(jīng)過幾年的努力，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“大尺寸高純稀有金屬制品制備技術(shù)”結(jié)出豐碩成果，成功攻克大規(guī)格高純硅單晶技術(shù)，并于去年下半年在德州經(jīng)開區(qū)實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

“單晶尺寸越大，能量控制難度越高?！毙で迦A說，硅單晶的形成是能量轉(zhuǎn)換的過程，直徑大的硅單晶產(chǎn)生的熱量大，如果熱量散不出去，超出承載力等，晶體容易裂開，因此控制熱量傳輸尤為關(guān)鍵。

該成果立足于自主創(chuàng)新，形成了獨(dú)特的加熱裝置、單晶信號(hào)檢測(cè)方案、收尾控制方法、位錯(cuò)缺陷判斷裝置、溫度閉環(huán)控制等手段，讓原子團(tuán)乖乖排隊(duì)，做統(tǒng)一動(dòng)作，有效解決了大規(guī)格單晶生長(zhǎng)過程熱應(yīng)力、固液界面穩(wěn)定性、氧含量、純度、典型缺陷及電阻率控制等問題，達(dá)到全球領(lǐng)先水平，形成20余系列產(chǎn)品，全覆蓋客戶端需求，長(zhǎng)成單晶直徑達(dá)到18英寸，為全球最大硅單晶尺寸，純度可到11N。

和此款產(chǎn)品一樣，山東有研公司的多款產(chǎn)品因科技含量高，頗受歡迎。美國(guó)、日本、韓國(guó)的硅部件廠商搶著下訂單，安裝于泛林、東京電子等頂尖半導(dǎo)體設(shè)備廠商的刻蝕機(jī)產(chǎn)品中，并在臺(tái)積電等產(chǎn)線中使用。